2026半导体与光学材料超精密加工技术及应用大会将于2026年10月20日在苏州白金汉爵大酒店(相城店)举办,大会聚焦超精密切削、研磨、抛光、刻蚀、镀膜及检测等核心工艺,集中展示最新研究成果、先进装备与应用案例,并设半导体与光学材料专题交流环节,旨在推动产业链上下游合作,加速技术攻关与产业化应用进程。
届时,瑞芯智造作为先进设备制造商,将携NanoCoulter™纳米库尔特单颗粒分析仪亮相大会,并分享主题报告《纳米库尔特粒度仪及其在CMP材料检测中的应用》(报告时间:2026年10月20日 9:55-10:20),诚邀科研院所、高校、检测机构及企业用户莅临A3展位,共促国产仪器创新与国际化发展!
瑞芯展位:A3
NanoCoulter测量聚苯乙烯标准微球等样本的平均粒径与粒径分布,其结果与电镜(SEM)数据准确度及精度完全吻合。
将样本梯度稀释,浓度数据线性关系良好,且与理论浓度相一致(固含量理论计算),10次重复测试,CV<5%。
颗粒的带电情况,即颗粒的zeta电位,是表征分散体系稳定性的重要指标,是极其重要的一个参数。在电解质溶液中,通过检测颗粒穿过纳米孔的时间,再根据Helmholtz-Smoluchowski方程可准确计算zeta电位。